El proceso de fabricación de pantallas transparentes requiere la deposición de una película conductora transparente de ITO (óxido de indio y estaño) de 50-100 nm de espesor sobre un sustrato de vidrio/plástico. Esto garantiza tanto la conductividad como una transparencia superior al 85%.
Luego, la capa de visualización con microestructura ajustada (como una LCD con menos bloqueo de luz de fondo o una OLED autoemisiva) se une con adhesivo óptico.
Algunos productos también incorporan una película táctil transparente con un paso de 2-5 μm.
A través de procesos como la deposición al vacío y la fotolitografía, se elimina la reflexión de la interfaz, logrando finalmente un efecto de visualización claro y transparente.
Sustrato y Capa Conductora
La base de una pantalla transparente está compuesta por un sustrato y una capa conductora.
Para el sustrato, se utiliza comúnmente vidrio flotado de 500 μm de espesor o plástico PET de 125 μm de espesor (tereftalato de polietileno).
El primero es resistente a los arañazos, mientras que el segundo es flexible. La capa conductora es una película delgada de Óxido de Indio y Estaño (ITO) recubierta por deposición al vacío o pulverización catódica con magnetrón, con un espesor controlado entre 50-100 nm (1/1000 de un cabello humano).
Debe cumplir con una transparencia del 85%-90% y una resistencia de lámina de 10-30 ohms/square, equilibrando la conductividad y la transmitancia de la luz.
El «Esqueleto» de la Pantalla
Una pantalla transparente puede dejar pasar la luz y mostrar imágenes, pero el primer paso depende de que el sustrato soporte las capas conductora y de visualización posteriores, y también determina si la pantalla es rígida o flexible.
Elegir el sustrato incorrecto lo arruinará todo: la transparencia es demasiado baja y la pantalla se ve gris, o es demasiado frágil y se agrieta al tocarla, o se arruga después de doblarla unas pocas veces.
Los sustratos comunes en el mercado se dividen en dos categorías: vidrio y plástico, con grosores que van desde varios cientos de micrómetros hasta fracciones de milímetro.
La superficie necesita ser pulida más suave que un espejo, y cada paso del proceso debe seguir datos estrictamente precisos.
Cómo Elegir el Material
Hay dos materiales de sustrato principales, y la elección depende completamente de para qué se utilizará la pantalla.
El vidrio flotado es el más común, generalmente de 500 μm (0.5 mm) de espesor, más uniforme que el vidrio de ventana estándar.
Su transparencia inherente es del 91% (sin recubrimiento), y la dureza de la superficie es de Mohs 6-7, solo dejando un ligero rastro blanco si se raya con una llave.
Es la opción preferida para pantallas transparentes comerciales.
Por ejemplo, las pantallas publicitarias transparentes en los centros comerciales utilizan un sustrato de vidrio flotado de 800 μm, que puede soportar la visualización diaria de miles de personas, y las marcas en la superficie son apenas perceptibles al tacto después de tres años.
El plástico PET es más ligero y suave, con un espesor de 125-250 μm (0.125-0.25 mm), y pesa menos de 1/3 del vidrio.
Su transparencia es del 89% (ligeramente menor pero suficiente) y puede doblarse en una curva de 180 grados, lo que lo hace adecuado para etiquetas electrónicas de estante y dispositivos plegables.
Sin embargo, es sensible al calor, y las temperaturas de procesamiento superiores a 100°C provocarán deformación.
Por lo tanto, el sustrato de PET requiere primero una capa de recubrimiento amortiguador de dióxido de silicio, y la película conductora debe depositarse controlando la temperatura por debajo de 80°C, de lo contrario, la película se arrugará.
Cómo Determinar el Espesor
Las pantallas fijas comerciales a menudo utilizan vidrio de 500-700 μm.
Por ejemplo, las pantallas de información de vuelo en los aeropuertos utilizan un sustrato de 600 μm de espesor.
Una bola de acero de 1 kg que caiga desde 1 metro de altura no agrietará la pantalla.
Si se utilizara vidrio más delgado de 400 μm, 1 de cada 3 se agrietaría en la misma prueba y sería susceptible de romperse por vibraciones durante el transporte.
Las pantallas flexibles requieren PET de 125-175 μm. Una tableta transparente plegable específica con un sustrato de 150 μm de espesor experimentó solo una caída del 2% en la transparencia después de 100,000 ciclos de plegado (radio de 5 mm), con una borrosidad apenas perceptible.
El uso de 200 μm de espesor genera altas tensiones internas durante el plegado, lo que provoca arrugas y patrones ondulados en la imagen mostrada.
Tratamiento de Superficie
La superficie del sustrato debe ser lisa a nivel nanométrico, de lo contrario, la dispersión de la luz hará que la pantalla parezca borrosa.
El tratamiento se divide en dos pasos:
Pulido: El vidrio flotado utiliza pulido químico-mecánico, donde la solución química y las partículas abrasivas «muelen» la superficie.
Después del tratamiento, la rugosidad es inferior a 0.5 nm (una millonésima parte de un cabello humano), y la transparencia aumenta del 91% al 92%.
No subestime este 1%; este ligero aumento hace que la imagen de la pantalla del centro comercial sea más transparente, permitiendo a los clientes ver el color del producto con mayor precisión.
Aplicación de Capa Amortiguadora: El sustrato de PET requiere un recubrimiento de dióxido de silicio de 50 nm de espesor.
Esta capa no solo reduce la rugosidad de la superficie de 2 nm a 0.8 nm, sino que también asegura que la posterior película de ITO se adhiera de manera más firme.
Prueba de Fiabilidad Ambiental
El sustrato terminado debe pasar controles ambientales. El laboratorio simula alta temperatura y humedad, y ciclos térmicos.
- 1000 horas a 85°C, 85% de humedad: El sustrato de vidrio no presenta cambios.
El sustrato de PET absorbe ligeramente la humedad, lo que resulta en una caída del 0.5% en la transparencia, pero sigue siendo aceptable. - 500 ciclos de conmutación de -40°C a 85°C cada hora: El vidrio no tiene problemas.
El PET se encoge ligeramente, pero el cambio dimensional es inferior al 0.1%, lo que no afecta la adhesión de otras capas.
Una marca realizó una prueba al aire libre, colgando su pantalla transparente de sustrato de vidrio en la playa durante dos años.
El sustrato no se amarilleó, mantuvo una transparencia del 89% y no se corroió por la niebla salina con pequeños agujeros.
Capa Conductora
Una pantalla transparente puede iluminarse y mostrar imágenes gracias a una película conductora invisible que necesita conducir la corriente eléctrica para activar los píxeles sin bloquear la luz.
Esta película se llama Óxido de Indio y Estaño (ITO), y su espesor es solo 1/1000 de un cabello humano.
Cómo «Dibujar» en el Sustrato
Hay dos métodos principales para la deposición de películas:
- Deposición al Vacío: El material ITO se calienta por encima de 800°C, se gasifica y luego se condensa en la superficie del sustrato para formar una película.
El equipo es económico y adecuado para la producción a pequeña escala, pero el espesor de la película puede ser desigual. Por ejemplo, en un sustrato de vidrio de 500 μm de espesor, la película puede variar 5 nm en espesor entre las esquinas y el centro, lo que provoca una transparencia desigual. - Pulverización Catódica con Magnetrón: Los iones de argón bombardean el objetivo de ITO (una pieza de metal del tamaño de una uña), «golpeando» los átomos del objetivo, que luego se depositan en el sustrato para formar la película.
El espesor de la película se puede controlar dentro de ±2 nm, lo que la hace tan uniforme como un panqueque perfectamente extendido.
Sin embargo, el equipo es caro y el proceso debe realizarse en una cámara de vacío, lo que lo hace adecuado para la producción en masa.
Un fabricante de paneles probó que la película de ITO hecha por pulverización catódica con magnetrón tenía una transparencia 1.5% mayor que la hecha por deposición, porque la película era más uniforme y dispersaba menos luz.
Espesor de la Película de ITO
El espesor de la película de ITO se controla estrictamente.
Si es demasiado delgada (ej. 40 nm), la película se vuelve propensa a agrietarse.
Una película de 40 nm se romperá en varios fragmentos después de doblarse dos veces.
Si es demasiado gruesa (120 nm), la transparencia caerá del 88% a menos del 80%, haciendo que la pantalla parezca borrosa.
El estándar de la industria es de 70-80 nm. La pantalla transparente de una marca utiliza una película de ITO de 80 nm, con una transparencia del 88% y una resistencia de lámina (una medida de conductividad) de 15 ohms/square.
Una baja resistencia significa que la corriente fluye rápidamente, la pantalla responde más rápido y la latencia táctil se puede controlar a menos de 10 milisegundos, similar a la de una pantalla de teléfono móvil normal.
Métricas de la Capa Conductora
La capa conductora tiene dos métricas cruciales que determinan directamente el rendimiento de la pantalla:
- Transparencia: El propio ITO absorbe algo de luz.
Las películas de alta calidad pueden alcanzar una transparencia del 85%-90%. Por ejemplo, un sustrato de vidrio de 500 μm tiene una transparencia del 91% sin recubrimiento.
Después de recubrir con 80 nm de ITO, la transparencia general es del 88%. Una caída del 3%, pero suficiente para que la pantalla parezca «transparente». - Uniformidad de la Resistencia de Lámina: El error de resistencia de lámina en toda la película debe ser inferior al 5%.
Por ejemplo, si el objetivo es 15 ohms/square, la región más delgada no debe exceder 15.75 y la región más gruesa no debe ser inferior a 14.25.
Desventajas del ITO
Aunque el ITO es útil, tiene un gran defecto: la película es frágil.
El plegado repetido provoca grietas. Después de 100,000 ciclos de plegado (radio de 5 mm), la película de ITO desarrollará microgrietas, lo que resulta en una caída del 1% en la transparencia y un aumento de 2 ohms en la resistencia de lámina.
Un fabricante comparó que una pantalla flexible con ITO mostró una visualización normal después de 100,000 ciclos de plegado,
mientras que una con nanocables de plata comenzó a mostrar puntos brillantes (cortocircuito de los cables de plata rotos) después de 50,000 ciclos.
Por lo tanto, la mayoría de las pantallas transparentes actuales todavía dependen del ITO para «soportar la carga».
El Equilibrio entre Transparencia y Conductividad
Una pantalla transparente logra simultáneamente «ver a través» y «mostrar una imagen clara» al equilibrar la transparencia y la conductividad.
Estas dos métricas son como un sube y baja: cuando una sube, la otra baja.
El desafío es encontrar el punto óptimo donde ambas sean lo suficientemente buenas para su uso.
Transparencia
El vidrio normal tiene una transparencia del 91%. Para que una pantalla transparente sea práctica, necesita alcanzar 85%-90%. Por debajo del 85%, la pantalla parecerá gris y oscurecerá las exhibiciones o escenas detrás de ella.
Por ejemplo, en un museo, una pantalla transparente con una exhibición detrás necesita al menos un 88% de transparencia para que la audiencia vea claramente los detalles de la exhibición.
Si la transparencia es del 85%, el color de la exhibición se oscurecerá un 10%, y los detalles se volverán borrosos.
Al 90%, la reproducción del color está cerca de lo que se ve a simple vista.
Resistencia de Lámina
La resistencia de lámina es una métrica para medir la conductividad, medida en ohms/square ($\Omega$/$\square$).
Un valor más bajo significa que la corriente fluye más suavemente.
La capa conductora de una pantalla transparente (como la película de ITO) necesita 10-30 $\Omega$/$\square$. Si es demasiado baja (ej. 5 $\Omega$/$\square$), el costo del material será demasiado alto.
Si es demasiado alta (más de 40 $\Omega$/$\square$), la corriente no fluirá de manera efectiva, haciendo que la pantalla sea «lenta» y provocando latencia táctil o imágenes fantasma en la pantalla.
Por ejemplo, una pantalla publicitaria transparente con una película de ITO de 15 $\Omega$/$\square$ tarda 0.1 milisegundos para que la corriente viaje de un extremo al otro, con una respuesta táctil de 0.05 segundos.
Cambiar a una película de 30 $\Omega$/$\square$ significa 0.2 milisegundos de tiempo de viaje y 0.1 segundos de latencia táctil, lo cual es aceptable pero ofrece una experiencia ligeramente inferior.
Espesor y Proceso
El equilibrio entre transparencia y conductividad se logra principalmente ajustando el espesor de la película de ITO y el proceso de fabricación.
El espesor es clave: Cuanto más delgada sea la película de ITO, mayor será la transparencia, pero menor será la conductividad.
Una película de ITO de 50 nm de espesor tiene una transparencia del 90% y una resistencia de lámina de 40 $\Omega$/$\square$.
100 nm de espesor tiene una transparencia del 88% y una resistencia de lámina de 15 $\Omega$/$\square$. 150 nm de espesor tiene una transparencia del 85% y una resistencia de lámina de 8 $\Omega$/$\square$.
La industria elige 80-100 nm. Porque a este espesor, la transparencia es superior al 88% y la resistencia de lámina es de alrededor de 15 $\Omega$/$\square$, lo que satisface la mayoría de los requisitos de aplicación.
El proceso afecta la uniformidad: La pulverización catódica con magnetrón es más uniforme que la deposición al vacío.
Las pruebas de un fabricante mostraron que la película de ITO hecha por pulverización catódica con magnetrón tenía un error de espesor de ±2 nm y una fluctuación de transparencia de menos del 0.5%.
La deposición al vacío tiene un error de ±5 nm y una fluctuación de transparencia del 1%-2%.
Tres Pruebas
La efectividad del equilibrio debe verificarse a través de pruebas:
Prueba de Transparencia: Medida con un espectrofotómetro en el rango de longitud de onda de 400-700 nm (el segmento de luz al que el ojo humano es sensible), se requiere una transparencia $\ge$85%.
La pantalla transparente de una marca se probó al 88%, cumpliendo con el estándar.
Prueba de Uniformidad de Resistencia de Lámina: Una sonda de cuatro puntos se utiliza para escanear toda la película, y el error de resistencia de lámina debe ser <5% en el 95% del área.
Por ejemplo, si el objetivo es 15 $\Omega$/$\square$, un máximo del 5% del área puede exceder 15.75 $\Omega$/$\square$.
Prueba de Envejecimiento: La pantalla se coloca en alta temperatura y humedad (85°C/85% de humedad) durante 1000 horas, y la caída de la transparencia debe ser $\le$1%, y el aumento de la resistencia de lámina debe ser $\le$2 $\Omega$/$\square$.
Una pantalla cayó del 88% al 87% de transparencia y la resistencia de lámina aumentó de 15 $\Omega$/$\square$ a 17 $\Omega$/$\square$, lo cual fue aceptable.
Nanocables de Plata y Grafeno
Aunque el ITO ofrece un buen equilibrio, es frágil y el indio es costoso.
Los nanocables de plata (AgNWs) tienen una transparencia del 89% (mejor que el ITO), pero la resistencia de lámina es de 20 $\Omega$/$\square$ (similar al ITO).
El problema es que los nanocables de plata son propensos a la oxidación, lo que hace que la transparencia caiga al 85% después de 6 meses y la pantalla se vea amarilla.
El grafeno es más ideal: 90% de transparencia, 10 $\Omega$/$\square$ de resistencia de lámina (mejor conductividad), pero difícil de producir en masa. La formación de películas de gran área es desigual y el costo es 5 veces mayor que el del ITO.
Reemplazo de Electrodos con Materiales Transparentes
Las pantallas tradicionales utilizan electrodos metálicos (como el aluminio, de aproximadamente 100 nm de espesor) que bloquean completamente la luz.
En las pantallas transparentes, estos deben ser reemplazados por una capa conductora transparente.
La opción principal es el Óxido de Indio y Estaño (ITO), con una transparencia a la luz visible del 90%-95%, un espesor de 50-150 nm y una resistencia de lámina de 10-30 ohms/square (suficiente conductividad para impulsar los píxeles).
Esto permite que aproximadamente el 40%-70% de la luz ambiental pase a través de la pantalla mientras mantiene la capacidad de transmitir corriente, logrando el efecto de «ver la imagen y el fondo».
Por Qué Elegir ITO
El primer paso para que una pantalla tradicional se vuelva transparente es reemplazar el electrodo metálico con una capa conductora transparente.
Aunque se han investigado varios materiales, como el óxido de estaño dopado con flúor (FTO), el grafeno y los nanocables de plata, la industria se ha decidido en su mayoría por el Óxido de Indio y Estaño (ITO).
Suficiente Transparencia
La transparencia promedio del ITO en el espectro de luz visible (longitudes de onda de 400-700 nm, la luz a la que el ojo humano es más sensible) puede alcanzar 90%-95%, que está cerca de la transparencia del vidrio de ventana normal (aproximadamente 92%).
Esto significa que solo el 5%-10% de la luz se absorbe o se refleja cuando pasa a través de la capa de ITO;
la mayor parte pasa suavemente.
En comparación, el FTO tiene una transparencia similar de alrededor del 90% pero una mayor transparencia infrarroja (lo que podría conducir a más calor si predominan los rayos infrarrojos),
y la transparencia teórica del grafeno puede alcanzar el 97%, pero en la producción en masa real, la transparencia es solo del 92%-94% debido a la falta de uniformidad del espesor de la película, y los defectos de la superficie son propensos a la dispersión de la luz.
Los nanocables de plata son aún más exagerados, con una transparencia de laboratorio que puede alcanzar el 98%, pero los puntos de conexión entre los cables son propensos a la oxidación, lo que hace que la transparencia caiga por debajo del 90% con el tiempo y tenga una estabilidad deficiente.
Conductividad Estable
La transparencia por sí sola no es suficiente; la capacidad de conducción también debe estar a la altura.
La métrica para la conductividad es la «resistencia de lámina» (resistencia por unidad de área, un valor más bajo significa mejor conductividad).
La resistencia de lámina del ITO es típicamente 10-30 ohms/square, que es justo lo que necesitan las pantallas. Por ejemplo, una pantalla OLED transparente de 55 pulgadas con electrodos de ITO puede mantener la velocidad de respuesta de los píxeles a nivel de microsegundos, lo que resulta en una imagen fluida sin desenfoque de movimiento.
Al observar otros materiales, el FTO tiene una resistencia de lámina de 10-25 ohms/square, similar al ITO, pero requiere una temperatura de deposición más alta (350-400°C), lo que es fácil de deformar los sustratos flexibles (como el plástico), por lo que no es adecuado.
La resistencia de lámina del grafeno es baja, de 1-5 ohms/square, con mejor conductividad que el ITO, pero es difícil lograr la uniformidad en grandes áreas en la producción en masa.
La resistencia de lámina de una película de grafeno de 1 metro cuadrado puede saltar de 1 ohm/square a 10 ohms/square, lo que provoca atenuación local o incapacidad de encendido en la pantalla.
La resistencia de lámina de los nanocables de plata es de aproximadamente 5-15 ohms/square, que parece buena, pero la resistencia en los puntos de contacto entre los cables es propensa a aumentar bruscamente, lo que resulta en una baja estabilidad de la conductividad general.
Producción en Masa y Costo
El proceso de fabricación del ITO ha madurado durante décadas, con la «pulverización catódica con magnetrón» como método principal. En una cámara de vacío, los iones de argón bombardean el objetivo de aleación de indio y estaño (90% de indio, 10% de estaño), y los átomos del objetivo se depositan en el sustrato para formar una película delgada.
Hay muchos proveedores globales para este equipo (Applied Materials, Tokyo Electron, etc.), y el equipo usado no es caro.
La inversión en una línea de producción es de aproximadamente 50 millones de USD, que puede producir 3 millones de pantallas transparentes de 55 pulgadas al año.
Otros materiales tienen más problemas. El FTO requiere deposición química de vapor (CVD), la inversión en equipos es un 30% mayor y el objetivo contiene flúor, lo que aumenta los costos de tratamiento de gases residuales.
El grafeno requiere CVD o exfoliación mecánica. El primero tiene un bajo rendimiento de solo 60%-70% (el ITO es $\ge$90%), y el segundo solo puede producir muestras de área pequeña.
Los nanocables de plata requieren recubrimiento con solución y son propensos a la aglomeración durante el secado, lo que resulta en un rendimiento inferior al 50%.
Además, el precio de la materia prima de plata fluctúa mucho (un aumento en el precio de la plata de 15 USD a 30 USD por onza duplica directamente el costo).
En general, el costo de fabricación integral del ITO es 15%-20% más bajo que el del FTO y más del 30% más bajo que el del grafeno.
Rendimiento Práctico
Más allá del rendimiento y el costo, el efecto de uso real es el más elocuente.
Un televisor OLED transparente de una marca utiliza electrodos de ITO, y los datos medidos son:
- Transparencia general del 58% (a la luz ambiental, el lomo de un libro en el estante detrás se puede ver claramente).
- Uniformidad de brillo de píxeles del 95% (la diferencia de brillo entre la esquina superior izquierda y la esquina inferior derecha de la misma imagen es inferior al 5%).
- Después de 1000 horas de funcionamiento continuo, el cambio de resistencia de lámina es inferior al 2% (buena estabilidad de conductividad, la imagen no se oscurece con el tiempo).
Cuando se utilizaron electrodos de grafeno, las mismas pruebas mostraron:
- La transparencia inicial del 92% cayó al 88% después de 100 horas (debido a la oxidación).
- Uniformidad de brillo de píxeles del 85% (alta fluctuación de resistencia de lámina local).
- Aparición de puntos oscuros notables después de 500 horas de funcionamiento continuo (aumento de la resistencia en los puntos de contacto).
El «Montaje» del ITO
Después de reemplazar los electrodos de la pantalla con ITO transparente, el siguiente paso es «montar» esta película conductora transparente a nivel nanométrico en el sustrato.
Esto no es una «unión con cinta» normal, sino que implica el uso de partículas de alta energía para «bombardear» átomos de indio y estaño sobre el vidrio o la película flexible en un entorno de vacío para formar una película delgada uniforme y perfecta.
El método de fábrica más común es la pulverización catódica con magnetrón. Todo el proceso es como «platear una capa de niebla conductora invisible» en la pantalla, y todos los detalles están ocultos dentro de los parámetros.
Objetivo de Aleación de Indio y Estaño
La materia prima para la película de ITO es el objetivo de aleación de indio y estaño, con una proporción de composición crucial de 90% de indio y 10% de estaño.
El objetivo debe ser de alta pureza ($\ge$99.99% de pureza), de lo contrario, las impurezas se mezclarán en la película delgada, lo que provocará una caída de la transparencia o una no conductividad local.
El peso de un objetivo es de aproximadamente 5-20 kg y puede recubrir con pulverización catódica 50-100 metros cuadrados de sustrato.
Debe reemplazarse una vez que se agota, y su costo representa aproximadamente el 30% de todo el proceso.
Entrada a la Cámara de Vacío
Antes de la pulverización, el sustrato se coloca en la cámara de vacío de la máquina de pulverización catódica con magnetrón.
La cámara debe evacuarse a un nivel de vacío inferior a $10^{-3}$ Pa (equivalente a una diez mil millonésima parte de la presión atmosférica de la Tierra), 100 veces más limpio que una sala de operaciones de hospital.
Este paso consiste en expulsar el oxígeno, el vapor de agua y el polvo del aire.
Incluso una sola partícula de polvo de 0.1 μm de diámetro puede crear un «agujero» en la película delgada, lo que provoca un cortocircuito local o una transparencia desigual.
Después de lograr el vacío, se introduce una pequeña cantidad de gas argón (99.999% de pureza) en la cámara, y la presión se controla a 0.1-1 Pa.
Proceso de Pulverización
Cuando los iones de argón bombardean el objetivo, «golpean» los átomos de indio y estaño de la superficie del objetivo.
Estos átomos activados vuelan hacia el sustrato y se depositan para formar la película delgada de ITO.
Los parámetros de todo el proceso afectan directamente la calidad de la película:
- Potencia de Pulverización: Si la potencia es demasiado baja, los átomos vuelan lentamente, la película crece lentamente y la densidad es baja.
Si la potencia es demasiado alta, el objetivo podría «quemarse» (conocido como «envenenamiento del objetivo»).
La fábrica generalmente establece la potencia en 1-3 kW (para máquinas de un solo objetivo) para garantizar la velocidad de deposición (50-100 nm por hora) sin dañar el objetivo. - Temperatura del Sustrato: El sustrato debe calentarse a 200-300°C.
A bajas temperaturas, los átomos de indio y estaño no se «asientan bien» en el sustrato, son propensos a formar estructuras desordenadas y la transparencia de la película cae por debajo del 85%.
A altas temperaturas, los átomos se organizan más densamente y la transparencia se puede estabilizar por encima del 90%, pero si la temperatura es demasiado alta (por encima de 350°C), los sustratos flexibles (como el plástico PET) se deformarán. - Distancia entre el Objetivo y el Sustrato: Esta distancia debe mantenerse en 5-10 cm.
La Película Delgada No Debe Tener Agujeros de Alfiler
Una vez completada la pulverización, se debe verificar la calidad de la película delgada de ITO.
El factor más importante es la ausencia de agujeros de alfiler. Incluso un agujero de alfiler de 1 μm de diámetro (1/50 de un cabello humano) puede hacer que la corriente se «escape», lo que resulta en un punto oscuro local en la pantalla.
La fábrica utiliza un microscopio óptico (1000x) o un elipsómetro para escanear toda la película.
Se requiere una tasa de aprobación de $\ge$95% para el envío.
Otros Métodos
Además de la pulverización catódica con magnetrón, algunas fábricas también prueban el recubrimiento con solución. Las nanopartículas de ITO se convierten en tinta, se recubren en el sustrato y se hornean para formar una película.
Este método tiene un costo menor (un 30% menos de inversión en equipos) pero tiene inconvenientes importantes:
- La uniformidad de la película es deficiente, con fluctuaciones de espesor de hasta 10 nm en diferentes lugares del mismo lote, lo que provoca variaciones en la resistencia de lámina.
- La evaporación del disolvente durante el secado es propensa a dejar huecos, y la transparencia solo puede alcanzar el 88%-90% (2%-4% más baja que la pulverización catódica con magnetrón).
También existe la deposición por haz de electrones. Un haz de electrones bombardea el objetivo, evaporando los átomos de indio y estaño y luego depositándolos.
Sin embargo, el equipo de haz de electrones es costoso (20 millones de USD por unidad) y la velocidad de evaporación es lenta (solo 20 nm por hora), lo que no es adecuado para la producción a gran escala.
Ejemplo de Producción Real
Una línea de producción de OLED transparente de un fabricante de paneles japonés utiliza pulverización catódica con magnetrón para el electrodo de ITO:
- Tamaño de sustrato único: Línea de generación G10.5 (2940$\times$3370 mm).
- Tiempo de pulverización: Aproximadamente 45 minutos por lado (deposición de película de 100 nm).
- Tasa de rendimiento: 92% (los principales defectos son los agujeros de alfiler y la falta de uniformidad del espesor).
- Rendimiento final de la película de ITO: Espesor $95\pm5$ nm, resistencia de lámina $18\pm2$ ohms/square, transparencia a la luz visible del 92%.
Proceso de Recubrimiento de Precisión
Después de reemplazar los electrodos de la pantalla transparente con ITO, el verdadero desafío es
«imprimir» esta película conductora transparente a nivel nanométrico en el sustrato. Esto no es como la impresión por chorro de tinta;
implica aterrizar con precisión los átomos de indio y estaño en el vidrio o la película flexible para formar una película conductora transparente y uniforme.
El método de fábrica más común es la pulverización catódica con magnetrón, donde cada paso, desde la preparación de la materia prima hasta la formación final de la película, se controla con precisión a parámetros de nivel de milímetro o nanómetro.
Proporción de Indio y Estaño
La «materia prima» de la película de ITO es el objetivo de aleación de indio y estaño.
Este artículo es como una moneda grande de 20-30 cm de diámetro y 5-8 cm de espesor, que pesa 5-20 kg.
Su proporción de composición determina directamente el rendimiento de la película: 90% de indio, 10% de estaño.
Un poco menos de estaño hará que la resistencia de la película se dispare.
Un poco más de estaño hará que la transparencia caiga un 3%-5%.
La pureza del objetivo es aún más crucial.
Debe ser $\ge$99.99% (grado 4N). Incluso un 0.01% de impurezas (como hierro y cobre) puede formar «puntos oscuros» en la película delgada, lo que provoca una caída de la transparencia local de más del 10%.
¿Cuántos sustratos puede recubrir un objetivo? Tomando como ejemplo la línea de generación G8.5 ($2200\times2500$ mm), un objetivo puede recubrir alrededor de 300-400 piezas de sustrato antes de que deba reemplazarse.
El costo de los objetivos representa el 30%-40% de todo el proceso de recubrimiento, lo que lo convierte en uno de los principales gastos del proceso de ITO.
Nivel de Vacío
Antes de la pulverización, el sustrato se envía a la cámara de vacío de la máquina de pulverización catódica con magnetrón.
La cámara debe evacuarse a un nivel de vacío inferior a $10^{-3}$ Pa (equivalente a una diez mil millonésima parte de la presión atmosférica de la Tierra), 1 millón de veces más limpio que la sala de operaciones de clase 100 de un hospital ($10^0$ Pa).
Este paso tarda de 15 a 30 minutos, utilizando bombas moleculares y mecánicas para eliminar el oxígeno, el vapor de agua y el polvo del aire.
¿Por qué tan «limpio»? Porque el oxígeno en el aire reaccionará con los átomos de indio y estaño para formar óxido de indio u óxido de estaño, lo que hace que la película sea frágil y reduce la transparencia.
El polvo es aún más problemático. Una partícula de polvo de 0.1 μm de diámetro (1/500 de un cabello humano) puede crear un agujero en la película delgada, lo que hace que la corriente se «escape», lo que resulta en un punto negro local en la pantalla.
Después de lograr el vacío, se introduce gas argón de alta pureza (99.999%) en la cámara, con un caudal controlado de 50-100 centímetros cúbicos estándar por minuto (sccm), manteniendo una baja presión de 0.1-1 Pa dentro de la cámara.
Comprobación de la Película Delgada
Después de la pulverización, se inspecciona la calidad de la película delgada de ITO.
Las comprobaciones más importantes son la ausencia de agujeros de alfiler y la uniformidad del espesor.
- Para la detección de agujeros de alfiler, se utiliza un elipsómetro para escanear toda la película con una resolución de 0.1 μm.
El criterio de aceptación es menos de 10 agujeros de alfiler por metro cuadrado. Incluso un agujero de alfiler de 1 μm de diámetro puede aumentar la densidad de corriente local en un 10%, lo que hace que el píxel se atenúe. - La uniformidad del espesor debe ser dentro de $\pm$5%.
Por ejemplo, si el espesor objetivo es de 100 nm, el espesor de toda la película debe estar entre 95-105 nm.
La fábrica utiliza un perfilómetro para medir 5 puntos: las cuatro esquinas y el centro del sustrato.
Una desviación superior al 5% requiere reprocesamiento.
Otros Procesos
Algunas fábricas también prueban el recubrimiento con solución. Las nanopartículas de ITO se pulverizan hasta convertirlas en polvo, se mezclan con agua/alcohol para formar una tinta, se recubren en el sustrato con una recubridora rollo a rollo y luego se hornean en un horno (150°C, 30 minutos) para formar la película.
Este método tiene equipos más baratos (un 30% menos de inversión) pero tiene muchos problemas:
- La uniformidad de la película es deficiente, con fluctuaciones de espesor de hasta 20 nm en diferentes lugares del mismo lote, lo que provoca un 15% de variación en la resistencia de lámina.
- La evaporación del disolvente durante el secado es propensa a dejar huecos, y la transparencia solo puede alcanzar el 88%-90% (2%-4% más baja que la pulverización catódica con magnetrón).
- El rendimiento es bajo, solo 70%-80% (el rendimiento de la pulverización catódica con magnetrón es $\ge$90%).
La deposición por haz de electrones es aún más cara. Un haz de electrones bombardea el objetivo, evaporando los átomos de indio y estaño y luego depositándolos.
Sin embargo, cuesta 20 millones de USD por unidad, la velocidad de evaporación es lenta (solo 20 nm por hora) y la baja energía de los átomos evaporados hace que la adhesión de la película sea deficiente y propensa a pelarse.
Referencia de Producción Real
Una línea de producción de OLED transparente de un fabricante de paneles coreano utiliza pulverización catódica con magnetrón para el electrodo de ITO:
- Tamaño de sustrato: Línea de generación G10.5 (2940$\times$3370 mm).
- Tiempo de pulverización: 45 minutos por lado (deposición de película de 100 nm).
- Tasa de rendimiento: 92% (los principales defectos son los agujeros de alfiler y la falta de uniformidad del espesor).
- Rendimiento de la película: Espesor $98\pm4$ nm, resistencia de lámina $17\pm1$ ohms/square, transparencia a la luz visible del 92%.
Ensamblaje de Pantalla y Ajuste de Visualización
Este proceso requiere primero limpiar el sustrato (ej. panel de PET de 50 μm), luego apilar secuencialmente la capa de electrodo transparente (ITO, 150 nm de espesor), la capa emisora de luz orgánica (2-3 μm) y la capa de encapsulación
(5 μm). Estas se unen con adhesivo óptico (25 μm de espesor) con una precisión de alineación de $\pm$5 μm.
Una vez completado, se mide la transparencia (objetivo $\ge$80%) y se utiliza un calibrador láser para ajustar los píxeles, asegurando un brillo uniforme del área emisora de luz (error <10%) y sin imágenes fantasma en el área transparente.
Materiales de Laminación
Primero, se coloca un sustrato de plástico PET de 50-100 μm de espesor (una bolsa de compras de supermercado tiene aproximadamente 12 μm de espesor; este sustrato es 4-8 veces más delgado).
Luego, se deposita un electrodo transparente de Óxido de Indio y Estaño (ITO) de 100-200 nm de espesor utilizando una máquina de deposición al vacío.
A continuación, se extiende una capa emisora de luz orgánica de 2-3 μm (el material se apila como arena fina), seguida de una capa de encapsulación de 3-5 μm (para a prueba de humedad) y un adhesivo óptico OCA de 20-30 μm.
La precisión de alineación de cada capa es de $\pm$5 μm (aproximadamente 1/20 de un cabello humano).
La desalineación puede causar una emisión de luz desigual o borrosidad en el área transparente.
Selección del Sustrato
Hay dos materiales de uso común. Uno es el plástico PET de 50-100 μm de espesor (este sustrato es 4-8 veces más delgado que una bolsa de compras, que tiene aproximadamente 12 μm de espesor) y el otro es el vidrio sodocálcico (el vidrio de ventana normal tiene aproximadamente 3 mm de espesor, pero aquí solo se utiliza 1/30 de ese espesor).
Aplicación del Electrodo
La siguiente capa es el electrodo transparente de Óxido de Indio y Estaño (ITO), que actúa como la «autopista» para la corriente.
El espesor debe controlarse a 100-200 nm (1 nm es 1/50,000 de un cabello humano).
Si es demasiado delgado (ej. 90 nm), la resistencia aumenta, la corriente no puede fluir y el área emisora de luz se ve tenue.
Si es demasiado grueso (210 nm), el material en sí se vuelve opaco, bloqueando la luz de fondo.
El ITO se recubre con una «máquina de pulverización catódica con magnetrón». El principio es como usar partículas de metal de alta velocidad para «golpear» el objetivo (un bloque de óxido de indio y estaño), y las partículas se pulverizan en el sustrato para formar la película delgada.
Es necesario controlar la velocidad de las partículas ajustando la presión del gas (0.5 Pa) y la potencia (3 kW) de la máquina para evitar que la película sea desigual y esté llena de agujeros.
De lo contrario, la película será desigual y estará llena de agujeros.
Después del recubrimiento, se utiliza un elipsómetro para medir el espesor.
Un error superior a 5 nm requiere un nuevo recubrimiento. Esto es equivalente a encontrar un grano de mijo en una pista de atletismo.
Extensión de la Capa Emisora de Luz
La capa emisora de luz es la «bombilla» de la pantalla, que utiliza materiales de molécula pequeña orgánica (como Alq3) o puntos cuánticos (partículas semiconductoras de tamaño nanométrico).
Esta capa tiene 2-3 μm de espesor y debe extenderse de manera uniforme como un panqueque delgado. Si es demasiado gruesa (4 μm), generará más calor cuando la corriente pase, lo que acortará la vida útil.
Si es demasiado delgada (1.5 μm), la salida de luz será insuficiente y la pantalla se verá gris.
La capa emisora de luz se recubre mediante el «método de recubrimiento por giro de solución». El material se disuelve en un disolvente de clorobenceno, se gotea sobre el electrodo de ITO y luego se gira uniformemente con una mesa giratoria a 2000 revoluciones por minuto.
Si la velocidad de giro es demasiado lenta (1500 rpm), el material se acumulará en pequeñas colinas.
Si es demasiado rápida (2500 rpm), los bordes serán demasiado delgados y el centro demasiado grueso.
Después del giro, se hornea en un horno de vacío durante 10 minutos para evaporar el disolvente, dejando una película delgada uniforme.
Recubrimiento Impermeable Ultradelgado
Debido a que la capa emisora de luz es sensible a la humedad, debe cubrirse inmediatamente con una capa de encapsulación.
Se utiliza tecnología de Deposición de Capa Atómica (ALD) para recubrir la superficie con una película compuesta de óxido de aluminio ($\text{Al}_2\text{O}_3$) + resina epoxi de 3-5 μm.
Esta capa actúa como una envoltura de plástico, sellando completamente la capa emisora de luz. Si queda un espacio de 0.1 μm, la humedad penetrará, lo que provocará que el material orgánico se ennegrezca y falle en tres meses.
Una máquina ALD solo puede depositar 0.1 nm a la vez, y se requieren 30-50 repeticiones para lograr un espesor de 3 μm.
Durante este proceso, se debe utilizar un «microequilibrio de cristal de cuarzo» para monitorear el espesor, midiendo el peso que agrega cada capa y convirtiéndolo en espesor.
Esto es como pesar 100 hojas de papel A4 en una báscula electrónica, y la diferencia de peso de cada hoja no debe exceder 0.01 gramos.
Unión Final de la Capa Protectora
La capa superior se cubre con adhesivo óptico OCA, de 20-30 μm de espesor, que sirve para unir firmemente las capas y reducir la refracción de la luz.
Después de la unión, se inspecciona con un microscopio. Si el número de burbujas por centímetro cuadrado excede 3, se requiere reprocesamiento.
Todo el proceso de laminación se lleva a cabo en una sala limpia de Clase 10,000 (donde las partículas de polvo de diámetro >0.5 μm en el aire son $\le$10,000 por metro cúbico).
Los trabajadores usan trajes antipolvo completos y se mueven lentamente, como en la desactivación de bombas.
Después de laminar cada pieza, un «alineador óptico» verifica la posición de cada capa. Si el error de alineación entre el electrodo de ITO y la capa emisora de luz excede $\pm$5 μm (1/20 de un cabello humano), la pantalla mostrará una «cara Yin-Yang» (brillo desigual).
Ejemplo: La pantalla transparente de 55 pulgadas de una marca tenía una tasa de aprobación inicial de laminación de solo el 70%.
Los principales problemas fueron el espesor desigual de la capa emisora de luz (30%) y las fugas en la capa de encapsulación (25%).
Antes de salir de fábrica, se debe realizar una prueba de transparencia. Debe ser $\ge$80% en estado normal.
De lo contrario, el usuario verá el fondo como cubierto con vidrio esmerilado.
Medición de Transparencia y Píxeles
Después de la laminación, la pantalla transparente requiere el ajuste de dos parámetros principales. Primero, la transparencia se mide utilizando un espectrofotómetro para irradiar luz blanca y calcular la transmitancia de luz general de la pantalla.
El objetivo es $\ge$80%, de lo contrario, se requiere reprocesamiento, pulido o reencolado.
Luego, se utiliza un calibrador para calibrar los píxeles, escaneando la pantalla para ajustar la corriente de cada píxel, asegurando que la desviación de brillo del área emisora de luz sea <10% y que no haya imágenes fantasma en el área transparente.
Medición de Transparencia
La transparencia se mide utilizando un espectrofotómetro, una máquina que emite luz blanca y recibe la luz que pasa a través de la pantalla para calcular la proporción.
La lente del equipo está a 20 cm de la pantalla, y la luz se irradia en un ángulo de 45 grados (simulando un ángulo de visión normal).
El criterio de aceptación es una transparencia $\ge$80% en estado normal (pantalla negra, sin mostrar nada).
Si la lectura es solo del 75%, ¿dónde podría estar el problema?
Podría ser que la capa de encapsulación sea demasiado gruesa. La película de óxido de aluminio de 3 μm diseñada se pulverizó 0.5 μm más gruesa, bloqueando algo de luz.
O el adhesivo OCA no se presionó uniformemente y contiene pequeñas burbujas de 1 μm que dispersan la luz durante la colisión, lo que dificulta la transmisión.
En este caso, la pantalla debe desmontarse, la capa de encapsulación debe pulirse con láser para que sea 0.5 μm más delgada (la precisión se controla a $\pm$0.1 μm), o el adhesivo debe volverse a recubrir y presionarse dos veces más con un rodillo para exprimir las burbujas.
Durante la depuración de una pantalla transparente de 43 pulgadas, la transparencia se estancó en el 78% durante tres lotes consecutivos.
Más tarde se descubrió que el sustrato de PET no se limpió a fondo antes de ingresar al taller, y una capa invisible de grasa se adhirió a la superficie, impidiendo la adhesión entre el adhesivo OCA y el sustrato, dejando huecos de tamaño micrométrico entre ellos.
El problema se resolvió utilizando un limpiador de plasma para soplar gas argón durante 5 minutos más para descomponer la grasa, y la transparencia aumentó inmediatamente al 82%.
Calibración de Píxeles
El primer paso es el ajuste de la uniformidad de brillo, que utiliza un espectrorradiómetro Konica Minolta CS-2000 para acercarse y escanear la pantalla, midiendo el brillo de cada píxel.
El objetivo es que la desviación de brillo en el área emisora de luz sea <10%. Por ejemplo, si el píxel central es de 300 nits, el borde más oscuro no debe ser inferior a 270 nits.
Si un píxel es oscuro, se aumenta la corriente de 15 microamperios a 16 microamperios hasta que el brillo cumpla con el estándar.
Esto requiere paciencia. Una pantalla de 55 pulgadas tiene $1920\times1080$ píxeles. El ingeniero tiene que inspeccionar visualmente la pantalla o utilizar software para generar una imagen en escala de grises (una barra de degradado de negro a blanco) para ver si hay bandas brillantes u oscuras repentinas.
El segundo paso es la eliminación de imágenes fantasma, que utiliza un «patrón de tablero de ajedrez». Se muestran cuadrados blancos y negros alternos y se muestran durante una hora.
Luego, se comprueba la pantalla en busca de una imagen fantasma gris claro junto a los cuadrados blancos.
El estándar de la industria requiere que el área de la imagen fantasma sea <0.1 milímetros cuadrados (el tamaño de una cabeza de alfiler).
Ajuste Iterativo
La medición de la transparencia y la calibración de píxeles están interrelacionadas. Si se adelgaza la capa de encapsulación para aumentar la transparencia, la capa emisora de luz puede volverse sensible a la humedad, lo que resulta en una atenuación más rápida del brillo.
Agregar una corriente inversa para calibrar los píxeles podría reducir la transparencia en un 0.5%.
Por lo tanto, la depuración es típicamente un ciclo de «medir-ajustar-volver a medir».
El registro de depuración de una pantalla transparente de 55 pulgadas de una marca mostró que se realizaron 12 ajustes en los primeros tres días, la transparencia aumentó del 79% al 81% pero cayó al 80.5% con un ligero ajuste de la capa de encapsulación.
La desviación de brillo de píxeles disminuyó del 15% al 8%, pero el área de la imagen fantasma aumentó de 0.08 milímetros cuadrados a 0.12 milímetros cuadrados.
Se debe realizar una «prueba de simulación de escena» antes del envío. La pantalla se coloca en una caja oscura, se enciende una luz blanca de 1000 lux (equivalente a una vista soleada fuera de la ventana) y se mide si la transparencia sigue siendo $\ge$70% (el requisito básico para que el usuario vea el fondo claramente).
Luego, se coloca en una habitación oscura de 50 lux, el brillo de la pantalla se ajusta a 300 nits y se comprueba la claridad del texto.
Simulación de Escenarios del Mundo Real
Después de la depuración de los parámetros, la pantalla transparente se prueba en una caja de simulación bajo tres condiciones. En luz intensa (1000 lux, como una vista soleada fuera de la ventana), se requiere una transparencia $\ge$70% para confirmar que la escena de la calle de fondo sea clara.
En luz débil (50 lux, como en interiores por la noche), el brillo del área emisora de luz debe superar los 300 nits y el texto no debe verse gris.
Luego, se coloca en una caja de 85°C + 85% de humedad durante 72 horas, lo que requiere que no haya niebla de agua ni imágenes fantasma.
Finalmente, la atenuación del brillo no debe exceder el 5% después de 1000 horas de reproducción continua de video.
Claridad bajo Luz Intensa
El primer paso de la prueba es la «exposición a luz intensa». La pantalla se coloca en una caja oscura y se enciende un simulador de luz blanca de 1000 lux (equivalente al brillo de la luz solar directa al mediodía).
El umbral de aceptación es $\ge$70%. Si la lectura es solo del 65%, significa que la capa de encapsulación o el adhesivo OCA están bloqueando demasiada luz.
El problema podría ser que la pulverización de la película de óxido de aluminio durante la encapsulación no fue uniforme, con un espesor local superior a 5 μm, o que las burbujas de aire no se exprimieron por completo del adhesivo OCA.
Una marca tuvo un lote de pantallas para exteriores donde la transparencia bajo luz intensa se estancó en el 68%.
Más tarde se descubrió que el sustrato de PET seleccionado era demasiado delgado (50 μm),
y se deformó ligeramente bajo alta temperatura, lo que hizo que el electrodo de ITO y la capa emisora de luz se desviaran 0.1 mm, bloqueando algo de luz.
Al cambiar a un sustrato de 100 μm, la transparencia aumentó al 73%, pasando la prueba.
Estrés por Alta y Baja Temperatura
Las pantallas pueden moverse de una habitación con aire acondicionado a la luz solar directa o colocarse al aire libre en invierno.
La prueba implica «fuego y hielo». Se coloca en una cámara de temperatura y humedad, primero se eleva la temperatura a 60°C y se mantiene durante 24 horas para comprobar si hay deformación o delaminación.
Luego, la temperatura se baja a -20°C y se congela durante 24 horas, después de lo cual se enciende para medir el rendimiento de la pantalla.
El foco es el riesgo de humedad bajo alta temperatura. La capa emisora de luz es sensible a la humedad.
Si hay microgrietas en la capa de encapsulación, la humedad penetrará a 60°C y 90% de humedad en la cámara.
Después de la prueba, la pantalla se desmonta e inspecciona. Se utiliza un microscopio infrarrojo para comprobar la capa de encapsulación.
Cualquier grieta de más de 0.1 μm de ancho se considera una falla.
Durante una prueba, una pantalla transparente en particular mostró «cristales de nieve» en la pantalla cuando se encendió a -20°C.
Sellado en Entornos Húmedos
La prueba utiliza una cámara de humedad de 30°C y 90% HR durante 72 horas.
Una vez completada, la pantalla se desmonta y se utiliza un microscopio electrónico para comprobar si hay rastros de gotas de agua de más de 0.5 μm de diámetro en la superficie de la capa emisora de luz.
La protección contra la humedad depende de la coordinación de la capa de encapsulación y el adhesivo.
La película de óxido de aluminio debe ser lo suficientemente densa (porosidad <1%) y el adhesivo OCA debe estar hecho de materiales hidrofóbicos (ángulo de contacto >90 grados).
Un lote de pantallas mostró bordes grises en el área emisora de luz después de la prueba de humedad.
El microscopio mostró líneas conectadas de rastros de gotas de agua, lo que indica un recubrimiento desigual en el borde de la capa de encapsulación, dejando un espacio de 0.2 μm.
El problema se resolvió ajustando el ángulo de la boquilla de la máquina de pulverización catódica y aumentando el espesor de la película del borde de 2 μm a 3 μm.
Funcionamiento Continuo
La pantalla reproduce video continuamente (imágenes de color puro y alto contraste en bucle) durante 1000 horas para medir tres métricas:
- La atenuación del brillo del área emisora de luz no debe ser >5% (ej. 300 nits iniciales, $\ge$285 nits después de 1000 horas).
- La caída de la transparencia del área transparente no debe ser <3% (del 80% a $\ge$77.6%).
- No debe haber imágenes fantasma permanentes (el área de la imagen fantasma debe ser <0.05 milímetros cuadrados después de mostrar un patrón de tablero de ajedrez durante 1000 horas).
El material $\text{Alq}_3$ utilizado en la capa emisora de luz se descompone después de la excitación eléctrica a largo plazo.
Para prolongar la vida útil del material, la corriente pico se redujo, por ejemplo, de 20 microamperios a 18 microamperios.
Durante la prueba de una pantalla, el brillo se atenuó un 6% después de 1000 horas.
El ingeniero ajustó la forma de onda de conducción de píxeles para reducir el impacto de la corriente instantánea, reduciendo la atenuación al 4%, cumpliendo con el estándar.
Solo se Envía después de Aprobar Todas las Pruebas
El registro de verificación final de la pantalla transparente de 55 pulgadas de una marca mostró que de las primeras 100 unidades, 15 fallaron la prueba de transparencia bajo luz intensa (sustratos reemplazados), 8 mostraron rastros de gotas de agua a alta temperatura (adhesivo de encapsulación reemplazado) y 5 excedieron el 5% de atenuación de brillo (corriente de conducción ajustada).
